半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导高级首测智能化涉重化工废水——MVR强硬再循环零排大型项目
項目底色
半导体行业器件中档首测内容,规模化150立米米/天,是首只半导体行业器件首测设备配套涉重污废水 处理零排内容。首测过程的镀镍、镀铜、引线整体布局完成后刷洗会有含镍含铜污废水 处理,居民小区符合要求"无尾水外排",产水全部使用于产线。
生活饮用水表现形式与要点
污水以含镍为核心(质量浓度10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH振幅大(2–12),还是光刻胶残余物的一少部分有机的物。测封厂区域紧,条件加工处理公共设施征地赔偿小;零排是因为着浓水并不能清运许多,不得不本地网蒸馏成果闭环控制。
清工院艺行车路线
整体布局走"分质提取 → 预进行处理除杂 → 电化学结晶除镍 → 脱水 → UF+多级RO → MVR被迫再循环减压蒸馏 → 空调蒸发器水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢空气被氧化钠转化Ni(OH)₂放置,后加塑炼钠程度捕集器的残留物镍(塑炼镍Ksp比氢空气被氧化镍更小,里能镍压到0.1毫克/升下类);
石雕文化沉淀出水出水经多物料滤过+保安队长滤过后进UF,再进一级通过成绩RO,产水简单回产线擦拭;
RO浓水(含盐+残留物血本属)进MVR立即无限反复的蒸馏器,立即无限反复的能扛高含盐积垢,蒸馏器自帶免费在线除垢,很容易堵;
MVR冷却水造成回收池体,减压蒸馏残液委外焚化或作危险废弃物应对,一整块工业园区无等离子态外排。
至关重要设施优缺点证明
MVR立即反复的好于普遍降膜汽化,反复的水流量高、热传导面不可以结镍盐/碳酸盐垢,时候首测一些"蓄水量并不大但水的硬度杂"的动画场景;分立式化撬装设汁占地面比传统与现代汽化塘+多效汽化细则小60%之上;异味重侧配建怪物滤池,把调理池和工业废水间的异味重获取后化学降解成CO₂和水,制止首测厂紧靠办公场所区的异味重投诉信。
加工效用与效率
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相较于《塑胶电镀废弃物物废气规则》表三;所有的150立米米/天产水造纸废水处理于首测产线清洁,替换等量清新水;垃圾(蒸发掉残液+生活污水)量比过去的"沉淀物+废气"模式切换减约70%。对富士康侧,首测大型项目安全审批卡点被揍通;