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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

重庆某光电器件存储芯片生产粗加工厂,晶圆粗加工全过程中所产生含硅、氟的独特焦化废污水,设汁治疗占比1200吨/日。焦化废污水材质繁杂,具有nm级硅顆粒及盐酸,老式治疗的办法难易标准。 废液部分及源头 关键水大气污染物 :溶液硅(100-500nm粒度分布)、氟亚铁离子(200-300mg/L)、异丙醇 起源工艺程序 :晶圆刻蚀污水(45%)、CMP化学上的机械化抛光处理污水(40%)、设施清扫冲洗水(15%) 鑫霖环保具体流程具体流程 创新性主要采用"耐腐蚀悠长岁月中+特种车膜脱离"技术水平交通路线: 钙盐悠长岁月中 :加药系统氯化钙我们要除氟铁离子(转为CaF2石雕文化沉淀) 水解酸化池反映 :混合斜管沉淀池剂保持悬浊液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm孔经膜截流微细颗料 反固化体统 :脱盐率>98%,回收公司率75% 减压蒸馏成果 :浓水段实现目标氟化物零排卸 最终能够成效 氟化物渗透压:<8mg/L(降到国家的1级规则10mg/L) 硅纯度:<5mg/L 水信息造纸废水处理率:70%中用冷却水塔保湿补水 危险废弃物回收利用:蒸发掉碎渣量较民俗艺下降60%

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