重庆某光电器件存储芯片生产粗加工厂,晶圆粗加工全过程中所产生含硅、氟的独特焦化废污水,设汁治疗占比1200吨/日。焦化废污水材质繁杂,具有nm级硅顆粒及盐酸,老式治疗的办法难易标准。
废液部分及源头
关键水大气污染物
:溶液硅(100-500nm粒度分布)、氟亚铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
起源工艺程序
:晶圆刻蚀污水(45%)、CMP化学上的机械化抛光处理污水(40%)、设施清扫冲洗水(15%)
鑫霖环保具体流程具体流程
创新性主要采用"耐腐蚀悠长岁月中+特种车膜脱离"技术水平交通路线:
钙盐悠长岁月中
:加药系统氯化钙我们要除氟铁离子(转为CaF2石雕文化沉淀)
水解酸化池反映
:混合斜管沉淀池剂保持悬浊液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔经膜截流微细颗料
反固化体统
:脱盐率>98%,回收公司率75%
减压蒸馏成果
:浓水段实现目标氟化物零排卸
最终能够成效
氟化物渗透压:<8mg/L(降到国家的1级规则10mg/L)
硅纯度:<5mg/L
水信息造纸废水处理率:70%中用冷却水塔保湿补水
危险废弃物回收利用:蒸发掉碎渣量较民俗艺下降60%