某半导体加工器加工器制做厂在晶圆加工厂历程中，安全使用硅烷使用硅本质生长发育，尾气排放洗衣塔产生了高溶度含硅污水。污水更具pH波动性大（2-11）、硅份量高的结构特征，传统文化加工具体方法易出现了硅垢堵塞了话题。 废气有效成分及从何而来 化工废水其主要组成为： 降解性硅酸盐 ：SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢防氧化钠 ：洗條塔酸碱性洗條液残渣 小粒硅 ：納米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：原石硫氰酸盐进入 正确处理施工工艺具体流程 全新分为"有级结合+膜过滤水+多效蒸发成果"生产工艺： 特级与 ：用CaO调节器pH至4-5，形成硅酸钙凝固，硅彻底清除率60%。 两级结合 ：加Na₂CO₃将pH不断提升至9，进一歩沉定多余硅，并接用镁剂除砷。 反渗透装置操作系统 ：0.02μm瓷器膜过虑納米级硅粒子，通量安全稳定在80LMH。 MVR化掉器 ：提液高盐废水处理工艺，晶体出Na₂SO₄副新产品，水使用率超90%。 从而功效 总硅从1500mg/L降为5mg/L下 砷水平从0.8mg/L下降0.01mg/L 系統无积灰自动运行不超2年 常年回收分类处理硝酸钠钠单晶体约800吨