该案例分析出自于华南地段二家超大半导体器件加工工厂的,常见产出一体化电源线路IC芯片。在产出环节中,晶圆刷洗、蚀刻等环节需实用巨大电商级磷酸(色度≥85%),由此而知诞生高酸度含磷生活污水。工厂的原先处理设施管理不可能做到空前严格执行的排放量规定(TP≤0.5mg/L),肯定需要升級整改。
废液材质及来历
废液一般起起源于三大关键环节:晶圆刷洗废液(占总需水量60%)、机洗废液(30%)相应地坪洗废液(10%)。水的硬度优点情况为:pH值1.5-2.5,总磷含量的800-1200mg/L,氟阴阳离子含量的50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并具有刺激性少量巨资属(铜、锌等)。
处里技艺程序
新项目运用"预加工处理+无机化学发展+高级工程师氧化物+强度进行过滤"的团体艺:
转换池
:均衡教育水体质量供水量,可设pH线下监测网系统性
一級现象池
:添加石灰石乳调结pH至8.5-9.0,造成Ca3(PO4)2析出
下级反映池
:更改PAC和PAM加强水解酸化池作用
斜板凝固池
:实现了固液脱离,废水流入脱水现象设计
Fenton空气氧化象限
:H2O2与Fe²⁺协同作战功用溶解有机质物
多媒介净化器
:石英石砂+几丁质酶炭三人组合过滤装置,确保安全留水使水变
阴离子调换设备
:进每一步的还原残留重金属阳离子
最终能够实际效果
体系启动平稳后,溢水水硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟正离子≤5mg/L,那项评价指标高于《电子器材制造业水水环境有害特性尾气尾气排放规范规范》(GB 39731-2020)。每人每年限制磷尾气尾气排放规范约15吨,废水造成量较傳統鑫霖环保大幅度降低40%,启动价格管控在8.十元/吨水。