该晶圆加工厂隶属于西北地,首要产量8屏幕尺寸光电器件晶圆,平均污废水 做出消费量下跌约800吨。伴随产量期间中的使用巨大氢氧化钠做出晶圆蚀刻,出现污废水 中氟化物含量高达mg200-300mg/L,远超发展中国家做出排卸基准(10mg/L以下的)。
焦化废水含量及起源
废渣重点是来自于这几个基本原则:
晶圆蚀刻环节
:含高盐浓度氟化物(HF)、盐酸及少量的血本属
化工机镜面抛光(CMP)生活污水
:含纳米级级硅科粒、有机化学络合剂
仪器洁净化工废水
:含异丙醇、化学需氧量等生物碳物
清理加工过程具体步骤
利用"耐腐蚀结晶出的+混疑结晶出的+纵深过滤装置"一级治理 软件系统:
七级整理
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,达成氟化钙水解,氟化物弄掉率达85%
两级除理
:加上PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),剔除橡胶胶体部分态造成的污染源
三阶段正确处理
:实现多物质净化器和抗逆性炭溶解,满水后氟化物溶液浓度可靠在8mg/L以上
关键性专用设备以及:pH自主调高整体、斜管发展池、板框刮刀离心机(废水脱干)。
最中作用
品牌运作五年污染监测参数体现 :
氟化物均匀有机废气浓度:7.2mg/L(最低地区细则)
COD祛除率:92%
污泥干化含水量率:≤65%
年回收分类处理氟化钙副企业产品约150吨,确保成本化借助