某半导体设备厂在生产加工的过程 中选择盐酸系成像液，导致高氨水浓度含NOx废液，日补救量50吨。废液中含NO2-到达2000mg/L，且含有微量分析充分光刻胶成分表，补救一定的难度很高。 2. 电镀废水组分及渠道 定影步骤废气（主要的弄脏源） 晶圆清晰化工废水 工业废气清洗塔排水口 3. 正确处理工艺设备流程图 使用"高阶氧化物+多级生物体清理"全新工艺流程： O3氧化的 ：根据臭氧杀菌發生器引发O3，将难挥发生物碳物化解为小大分子化学物质，同一将NO2-氧化的为NO3-。 生物工程膜反响器（MBR） ： 一级：缺氧症状室内环境下加药系统甲醇是 碳源，使得反反硝化作用发生反应 第五级：好氧生物工程膜进步化学降解可挥发物 电物理宽度办理 ：采取钛基表层参比电极，使用电解设备用处充分降解残渣破坏物。 4. 最终能够结果 NOx总氮减少为8mg/L低于 COD安全在30mg/L之内 废水处理方法回收利用率达60% 装置加载耗电量把控在3.5kWh/吨水，较传统与现代艺绿色建筑20%。