半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
項目题材
该第三产业区众多了十余家半导体设备各种相关各个制造业公司,设定日治理工作能力5000吨,须要治理出于其他各个制造业公司的混杂废气补救方法。基于各各个制造业公司生产方式新工艺区别大,废气补救方法组成比较复杂多样化,治理困难较高。
废水处理工艺组成成分及的来源
污废气 处理通常包涵几大类:高腐蚀还原电位生物碳污废气 处理(光刻胶、定影液等)、含氟污废气 处理(刻蚀工步)和酸碱性污废气 处理(清洁工步)。特异有效成分包涵异丙醇、四甲基氢腐蚀铵等难溶解生物碳物,或者氟化物、挥发酚等硅酸污染源物。污废气 处理COD动荡大(500-3000mg/L),氟化物腐蚀还原电位100-500mg/L,挥发酚50-150mg/L。
除理艺生产工艺流程
运用"区分整理+分质清理+集约化深度.清理"的改革创新方法:
单位内部的进行分类预解决:含氟废液一个人回收利用并预解决
小区管网的归类推送系统性
宗合上下调整池稳定饮用水
两极混泥土积累快速清理浮悬物和电解质溶液
高质量生物技术反映器(HBR)操作有机酸造成的有害物质
三氧崔化氧化反应降解塑料难分析有机化学物
反融于软件完成脱盐处置
太阳光的太阳中的紫外线线清洗为了保证有水出卫生
很设计了手机在线检测网体统和自己投加体统,应该对水的硬度浮动。
结果英文功效
操作系统程序运行四年来,操作视觉效果稳定性高可靠性。出液COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,到达河流Ⅳ类标,大部分工业废水处理于经济区公路绿化及放置玻璃钢冷却塔补充水分,工业废水处理率高达30%。年年少鲜活水操作约十万吨,为经济区厂家省去有水费数十万万。